不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作狀態(tài)。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機(jī)組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組，中真空一般需要二級機(jī)組。高真空機(jī)組往往需要三級機(jī)組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強(qiáng)，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預(yù)抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因?yàn)殡S著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機(jī)組，對達(dá)到工作真空度的時間是有要求的，預(yù)抽時間越長，而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機(jī)組不能正常工作。進(jìn)入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達(dá)到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。